真空机组
真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。A、机械真空泵：旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。B、蒸汽流真空泵：水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。C、气体捕集真空泵：钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。D、真空机组：即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。
耐腐蚀真空机组叶轮裂纹的原因
涡轮机的结构分析
耐腐蚀真空机组叶轮由前盖板、后盖板、叶片、轮毂等部件组成。叶片与前部盖板界面的尖角设计较窄，容易造成应力集中。在作用的相互载荷下，叶片被拉伸，叶片与前者盖板的连接处形成过载应力，导致连接处反向收缩，形成裂纹。
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真空机组
真空室的已知参数，
如放气的表面积和真空室的体积，真空机组哪家好，所需的大吸气量和极限真空度，预抽时间和达到极限真空的抽气时间等.
真空室内的气体源情况，
真空室内的大气，真空机组代理商，真空室内表面放气，真空室的动密封处、静密封处的漏气，壳体渗透气体，被处理材料放出的气体，工艺过程需要而引入的气体。
真空室内的特殊要求，
工艺过程中是否产生尘灰、金属喷溅、腐蚀性气体、水蒸气等，真空室内是否要求无油、无振动等。
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