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真空机组

真空机组的抽气能力不够还是漏率高;或者两者兼而有之，需要耐心观察和记录，从中找出故障原因，比如，抽空时间相同，真空机组价格，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染、氧化等；或是前级管路密封不好，泵油不足;或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。

选择真空机组

(1) 当使用一种深圳真空泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，真空机组多少钱，互相补充才能满足工艺要求。

(2) 有的甚至真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，真空机组哪家好，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求。

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真空室的已知参数，

如放气的表面积和真空室的体积，所需的大吸气量和极限真空度，预抽时间和达到极限真空的抽气时间等.

真空室内的气体源情况，

真空室内的大气，真空室内表面放气，真空室的动密封处、静密封处的漏气，壳体渗透气体，被处理材料放出的气体，真空机组，工艺过程需要而引入的气体。

真空室内的特殊要求，

工艺过程中是否产生尘灰、金属喷溅、腐蚀性气体、水蒸气等，真空室内是否要求无油、无振动等。