氦质谱检漏仪的真空系统
氦质谱检漏仪真空系统一般包括：
1、主泵：一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa，其抽速应导气载匹配。
2、前级真空泵：一般采用旋片式机械真空泵，在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，氦所质谱检漏仪品牌，抽速导主泵匹配。
3、预抽真空泵：一般与前级真空泵共用一个泵，也有预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，正压氦所质谱检漏仪品牌，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。
4、冷阱：分子泵型真空系统一般不加冷阱。护散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间，使三者被冷阱隔离。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室，保持质谱室的清洁，并帮助扩散泵迅速获得较高真空。
真空压力法氦质谱检漏的优缺点
真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。
真空压力法的检测标准有GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求
氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能。秀长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理，采用了分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换，具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，正压氦所质谱检漏仪品牌，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点：
1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.多种大漏保护模式，正压氦所质谱检漏仪品牌，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；
4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。
5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，直接输出生成Excel表格。
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