真空机组
真空设备的配套领域愈来愈广，很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。相当多的情况下不是单一部分的问题，这一点让人难以在故障排查中进行综合考量，有的是机械装配中精度不到位造成的，有的是绝缘材料或结构上的问题，这时，不要急于下结论，不要急于拆卸设备，应认真查勘分析故障现象，真空机组，以及请教设备厂家人员，避免误拆误卸造成不必要的损失。
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真空机组的安装说明
1、真空机组应安装在明亮少尘的通风性能好的建筑物内，环境温度为5-40℃。
2、真空机组周围应留有充足的空地，便于日常检查维修保养。
3、真空机组出厂时一般已安装在机架上，用户须浇制混凝土基础，并在混凝土中埋进固定机组螺栓（一般用膨胀螺栓）基础平面要求水平。
4、将真空机组就位固定后，连接管路、管道通径不得小于泵进出气口通径，管道内无任何焊渣、杂质等异物，主泵进气口上方与系统连接管路中应安装阀门，真空机组价格，使真空机组与系统隔开，系统允许的总漏率应≤10PaL/S。
5、当抽除气体中含有颗粒物时必须在主泵上方的管道中加装过滤装置。
6、当抽除气体中带有较强腐蚀性时（PH≤5），必须在主泵上方的管道中加装中和装置。
7、真空机组的电气控制柜应安装在适当位置，便于操作，如果用户自配电气控制柜，则要根据真空机组的工作程序进行设计安装，各泵的转向符合规格要求。（泵均有转向箭头，不得反转）真空机组电气设备必须具有互锁及自动保护装置，要求工作可靠安全。
真空机组
真空室的已知参数，
如放气的表面积和真空室的体积，所需的大吸气量和极限真空度，预抽时间和达到极限真空的抽气时间等.
真空室内的气体源情况，
真空室内的大气，真空室内表面放气，真空室的动密封处、静密封处的漏气，真空机组公司，壳体渗透气体，被处理材料放出的气体，工艺过程需要而引入的气体。
真空室内的特殊要求，
工艺过程中是否产生尘灰、金属喷溅、腐蚀性气体、水蒸气等，真空室内是否要求无油、无振动等。
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