氮质谱检漏仪
氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度很高，正压氦质谱检漏仪检漏品牌，用得普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
对检漏方法的具体要求
1、检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；
2、反应时间短，可以提高工作效率；
3、能定位、定量，不仅能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；
4、能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；
5、稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；
6、所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；
7、检漏范围大，正压氦质谱检漏仪检漏品牌，从大漏孔到小漏孔都能检测到，氦质谱检漏仪检漏品牌，以减少检漏设备的数量和费用；
8、检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求。
氦质谱检漏仪适用领域
氦质谱检漏仪，在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在装备中也离不开检漏，弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏。 氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用。
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