背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，氦所质谱检漏仪价格，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送人到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
氦质谱检漏仪的选择
选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：
（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，正压氦所质谱检漏仪价格，此时应选择有多工位的检漏仪。
（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。
（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。
（4）被检件容积如果较大，正压氦所质谱检漏仪价格，必须选用预抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。
（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，正压氦所质谱检漏仪价格，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。
（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。
（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。
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