扩散泵超高真空机组
以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，真空机组，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的超高真空。
真空机组设计计算的一般程序
A.真空室总放气量的计算;
B.确定真空室的有效抽速;
C.粗配主泵和粗配前级好凯德真空泵;
D.根据要求选择阀门、捕集器、除尘器等真空元件;
E.绘制真空系统装配草图，确定各部分的尺寸;
F.复核计算各真空泵的参数，如果粗选的真空泵达不到要求，就需要重新选泵和配泵，直到满足各参数要求为止;
G.绘制真空系统装配图;
H.绘制零件图，绘制施工图。
耐腐蚀真空机组如何更换润滑油
1.加油窗须保持清洁，并存放在黑暗、干燥和通风的地方。
2.取油或装油时，须清理桶盖周围的水渍，真空机组哪家好，以防杂物因不必要的磨损而混入。
3.耐腐蚀真空机组应尽可能避免提取溶剂、水蒸气和腐蚀性气体。使用时，应经常更换检查和机油。
4.耐腐蚀真空机组泵油可以，不能与其他润滑油混合。如果可以混合不同的油品，可能会影响真空性能。
5.更换泵油时，应将泵体中使用的旧油排出，并将残余油清洗干净后再换上新油。注入新油后，真空机组价格，泵轴需要缓慢旋转。
6.向耐腐蚀的真空机组，添加润滑油时，需要使用特殊的加油设备。
7.在耐腐蚀真空机组的大修期间，用清洗剂清洗泵的所有部件并干燥。
8.当矿物油和酯油与其他合成油交换时，工作人员有必要拆卸泵进行车底清洗。拆卸耐腐蚀真空泵时，有必要将所有零件浸入酯油中，以防止零件被污染。
9.如果吸入化学气体和溶剂，会影响耐腐蚀真空机组泵的油污染真空，需要清洗和更换。
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