氦质谱检漏仪的工作原理是什么？
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪。
氦质谱检漏仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：
首先，氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大，正压氦质谱检漏设备价格，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。 第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。 第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。 第四，氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。 第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。 第六，检漏仪的性能不稳定。 第七，氦气纯度不稳定或存在误差。 第八，之后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。
氦质谱检漏仪的保养注意事项
1.如果仪器不是每天使用，氦质谱检漏设备价格，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，正压氦质谱检漏设备价格，缩短仪器使用时的开机时间
2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，正压氦质谱检漏设备价格，可用仪器进行自身检漏。
3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。
4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）
5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。
6.使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。
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