低真空抽气机组
低真空抽气机组的主要特点是工作压力高、排气量大，但抽速比高真空抽气机组低，多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气(钢水处理)等装置中。低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、水环泵、分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等直排大气真空泵，使用低真空抽气机组，还需要根据被抽气的清洁程度、湿度或其他特殊要求，配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥阱等部件。
真空机组
正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵不能满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气，需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有很高的抽速，但是不能进行抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速两组合起来，则会使真空装置得到相应的真空度。
真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时，应该选用各种无油泵，真空机组报价，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，真空机组哪家好，如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染的措施。
真空机组
真空机组的抽气能力不够还是漏率高;或者两者兼而有之，需要耐心观察和记录，从中找出故障原因，比如，抽空时间相同，真空机组价格，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，真空机组，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染、氧化等；或是前级管路密封不好，泵油不足;或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。
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